艾默生TESCOM 64-3600系列高灵敏度减压型调压器

艾默生TESCOM 64-3600系列高灵敏度减压型调压器

TESCOM

产品特点：

内部表面光洁度为 10 Ra 微英寸/0.25 微米

阀膜与阀体之间采用金属对金属密封，提供较好的密封性

内部经全面电解抛光处理

旨在减少半导体气体系统中的压力波动

满足严苛的半导体行业的使用点和

气瓶应用要求

产品规格：

阀座

PCTFE、PTFE PFA® 或 Vespel®

阀杆和阀弹簧

316 不锈钢

其他部件

316 不锈钢或 Hastelloy®

工作温度

Teflon® PFA 阀座：-40 至 160°F/-40 至 71°C
Vespel® 阀座：-40 至 350°F/-40 至 177°C
PCTFE 阀座：-40 至 140°F/-40 至 60°C

端口尺寸和类型

1/4、1/2外螺纹旋转、内螺纹旋转、外螺纹固定、HPIC1/4 管接头

实物展示